技術文章首頁 > 技術文章 > 全部文章
泰勒霍普森PGI粗糙輪廓儀信息
點擊次數：72 更新時間：2025-10-28 打印本頁面 返回
泰勒霍普森PGI系列是一款集高精度表面粗糙度與輪廓測量于一體的多功能計量儀器，廣泛應用于精密制造、光學元件、半導體、汽車、航空航天及科研領域。
核心技術特點
相位光柵干涉測量技術（PGI）
PGI 系統采用獨特的相位光柵干涉原理，結合高穩定性機械結構與精密光學系統，實現對表面形貌的非接觸或接觸式高精度測量。該技術可同時滿足粗糙度（Ra、Rz 等）和宏觀輪廓（如曲率半徑、傾角、臺階高度）的測量需求。
超高垂直分辨率
垂直分辨率可達 0.1 納米，水平分辨率優于 0.1 微米，適用于超光滑表面（如光學鏡片、硬盤基板、半導體晶圓）的精密表征。
多功能一體化平臺
PGI 系列支持：
表面粗糙度參數（ISO 4287/21920 標準）
輪廓形狀分析（球面、非球面、自由曲面）
臺階高度與薄膜厚度測量
波紋度與形狀誤差評估
配套專業分析軟件提供直觀的3D/2D可視化界面，支持自動報告生成、數據比對、SPC統計過程控制及符合 ISO/GPS 標準的數據輸出。
高穩定性機械結構
采用天然花崗巖基座、空氣軸承導軌及主動隔振系統，確保在工業環境或計量實驗室中均能獲得可重復、高可靠性的測量結果。
典型應用領域
光學行業：非球面透鏡、激光反射鏡、衍射光學元件（DOE）的面形與粗糙度檢測
半導體與微電子：晶圓表面平整度、CMP后粗糙度、MEMS結構輪廓
精密機械：軸承滾道、密封面、刀具刃口的微觀形貌分析
科研與計量院所：納米材料、超精密加工工藝驗證、標準樣塊校準
